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cgh8775

木虫 (著名写手)


[交流] 如何使旋涂的薄膜不从硅片上截起来

最近合成一种双亲性的聚合物,旋转涂膜后放到水里薄膜就自动和硅片分开了,但是我不需要分开而且也不能分开。
尝试过对硅片进行亲水处理,就是用硫酸和双氧水一起煮,但是煮完后还是不行。还是照样起来,
这里有没有有过类似经历的,我算是个半路出家搞这个的 ,没什么经验……
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不存在芝麻粒

银虫 (小有名气)



cgh8775(金币+1): 谢谢参与
用等离子体刻蚀一下,效果好的多,最好用氧气
35楼2013-01-14 10:55:00
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假大空

木虫之王 (文学泰斗)



cgh8775(金币+1): 谢谢参与
多看文献
10楼2013-01-08 20:46:31
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userhung

禁虫 (文学泰斗)


11楼2013-01-08 20:52:55
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cgh8775(金币+1): 谢谢参与
离心试试

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
14楼2013-01-08 23:50:50
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