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如何使旋涂的薄膜不从硅片上截起来
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cgh8775
木虫
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虫号: 731757
[交流]
如何使旋涂的薄膜不从硅片上截起来
最近合成一种双亲性的聚合物,旋转涂膜后放到水里薄膜就自动和硅片分开了,但是我不需要分开而且也不能分开。
尝试过对硅片进行亲水处理,就是用硫酸和双氧水一起煮,但是煮完后还是不行。还是照样起来,
这里有没有有过类似经历的,我算是个半路出家搞这个的 ,没什么经验……
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1楼
2013-01-08 17:24:07
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银虫
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虫号: 1408309
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cgh8775(金币+1): 谢谢参与
用等离子体刻蚀一下,效果好的多,最好用氧气
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35楼
2013-01-14 10:55:00
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cgh8775(金币+1): 谢谢参与
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10楼
2013-01-08 20:46:31
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http://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTotal-GKGH201202002.htm
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http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=3948110
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http://wiki.cnki.com.cn/HotWord/6132879.htm
http://www.doc88.com/p-04883935415.html
http://wenku.baidu.com/view/f1ecc9ff910ef12d2af9e775.html
http://www.baisi.net/thread-2607490-1-1.html
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11楼
2013-01-08 20:52:55
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cgh8775(金币+1): 谢谢参与
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14楼
2013-01-08 23:50:50
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