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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 高分子 » 高分子物理 » 如何使旋涂的薄膜不从硅片上截起来
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cgh8775

木虫 (著名写手)

[交流] 如何使旋涂的薄膜不从硅片上截起来

最近合成一种双亲性的聚合物，旋转涂膜后放到水里薄膜就自动和硅片分开了，但是我不需要分开而且也不能分开。
尝试过对硅片进行亲水处理，就是用硫酸和双氧水一起煮，但是煮完后还是不行。还是照样起来，
这里有没有有过类似经历的，我算是个半路出家搞这个的 ，没什么经验……
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1楼 2013-01-08 17:24:07
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不存在芝麻粒

银虫 (小有名气)
★
cgh8775(金币+1): 谢谢参与
用等离子体刻蚀一下，效果好的多，最好用氧气
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35楼2013-01-14 10:55:00
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