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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【求助】悬臂梁式微阀上为什么开个口啊？那样液体不是直接透过去了么？求大神指点……
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springcp

铜虫 (小有名气)

[求助] 【求助】悬臂梁式微阀上为什么开个口啊？那样液体不是直接透过去了么？求大神指点……

悬臂梁式微阀上为什么开个口啊？如图A/B/C所示，那样液体不是直接透过去了么？

微阀结构示意图.png
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海阔天空
1楼 2013-01-02 14:38:52
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匿名

用户注销 (职业作家)
感谢参与，应助指数 +1
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2楼2013-01-02 16:14:34
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springcp

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by fbqrdzs at 2013-01-02 16:14:34
这个用于控制内外蒸汽压的，当内部蒸汽压大于外部蒸汽压的时候你考虑一下，是不是自动关闭了。

这个微阀是应用在微泵中的，如下图所示，不需要控制内外气压的，它是靠弹性恢复的，从而实现阀的开启与关闭，所以不明白开这个孔是什么意思，请指点……

基于MEMS技术的三明治结构被动阀微泵研制.jpg
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海阔天空
3楼2013-01-02 17:07:40
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
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3楼: Originally posted by springcp at 2013-01-02 17:07:40
这个微阀是应用在微泵中的，如下图所示，不需要控制内外气压的，它是靠弹性恢复的，从而实现阀的开启与关闭，所以不明白开这个孔是什么意思，请指点……

基于MEMS技术的三明治结构被动阀微泵研制.jpg
...

你确定那是一个孔，而不是图上标出的凹槽。
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4楼2013-01-03 02:06:08
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springcp

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-03 02:06:08
你确定那是一个孔，而不是图上标出的凹槽。...

这个还真不确定，但是右边的跟左边的是一起光刻出来的，左边的细线部分是通的，我觉得右边应该也是通的，你觉得呢？要是凹槽的话有什么意义呢？请指点……
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海阔天空
5楼2013-01-03 09:58:12
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by springcp at 2013-01-03 09:58:12
这个还真不确定，但是右边的跟左边的是一起光刻出来的，左边的细线部分是通的，我觉得右边应该也是通的，你觉得呢？要是凹槽的话有什么意义呢？请指点……...

细线的色调是白色，方块的色调是灰色，肯定是不一样的。

我觉得有这个凹槽，可以调制该处薄膜的柔韧性。至于如何实现，给的材料不足，实在猜不出
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6楼2013-01-03 20:52:55
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