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汕头大学海洋科学接受调剂
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springcp

铜虫 (小有名气)

[求助] 【求助】悬臂梁式微阀上为什么开个口啊?那样液体不是直接透过去了么?求大神指点……

悬臂梁式微阀上为什么开个口啊?如图A/B/C所示,那样液体不是直接透过去了么?

微阀结构示意图.png
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海阔天空
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匿名

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2楼2013-01-02 16:14:34
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springcp

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by fbqrdzs at 2013-01-02 16:14:34
这个用于控制内外蒸汽压的,当内部蒸汽压大于外部蒸汽压的时候你考虑一下,是不是自动关闭了。

这个微阀是应用在微泵中的,如下图所示,不需要控制内外气压的,它是靠弹性恢复的,从而实现阀的开启与关闭,所以不明白开这个孔是什么意思,请指点……

基于MEMS技术的三明治结构被动阀微泵研制.jpg

海阔天空
3楼2013-01-02 17:07:40
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yswyx

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【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by springcp at 2013-01-02 17:07:40
这个微阀是应用在微泵中的,如下图所示,不需要控制内外气压的,它是靠弹性恢复的,从而实现阀的开启与关闭,所以不明白开这个孔是什么意思,请指点……

基于MEMS技术的三明治结构被动阀微泵研制.jpg
...

你确定那是一个孔,而不是图上标出的凹槽。
4楼2013-01-03 02:06:08
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springcp

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-03 02:06:08
你确定那是一个孔,而不是图上标出的凹槽。...

这个还真不确定,但是右边的跟左边的是一起光刻出来的,左边的细线部分是通的,我觉得右边应该也是通的,你觉得呢?要是凹槽的话有什么意义呢?请指点……
海阔天空
5楼2013-01-03 09:58:12
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by springcp at 2013-01-03 09:58:12
这个还真不确定,但是右边的跟左边的是一起光刻出来的,左边的细线部分是通的,我觉得右边应该也是通的,你觉得呢?要是凹槽的话有什么意义呢?请指点……...

细线的色调是白色,方块的色调是灰色,肯定是不一样的。

我觉得有这个凹槽,可以调制该处薄膜的柔韧性。至于如何实现,给的材料不足,实在猜不出
6楼2013-01-03 20:52:55
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