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铜虫 (小有名气)

[求助] 【求助】悬臂梁式微阀上为什么开个口啊？那样液体不是直接透过去了么？求大神指点……

悬臂梁式微阀上为什么开个口啊？如图A/B/C所示，那样液体不是直接透过去了么？

微阀结构示意图.png

海阔天空

1楼2013-01-02 14:38:52

铜虫 (小有名气)

引用回帖:

2楼: Originally posted by fbqrdzs at 2013-01-02 16:14:34
这个用于控制内外蒸汽压的，当内部蒸汽压大于外部蒸汽压的时候你考虑一下，是不是自动关闭了。

这个微阀是应用在微泵中的，如下图所示，不需要控制内外气压的，它是靠弹性恢复的，从而实现阀的开启与关闭，所以不明白开这个孔是什么意思，请指点……

基于MEMS技术的三明治结构被动阀微泵研制.jpg

海阔天空

3楼2013-01-02 17:07:40

铜虫 (小有名气)

引用回帖:

4楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-03 02:06:08
你确定那是一个孔，而不是图上标出的凹槽。...

这个还真不确定，但是右边的跟左边的是一起光刻出来的，左边的细线部分是通的，我觉得右边应该也是通的，你觉得呢？要是凹槽的话有什么意义呢？请指点……

海阔天空

5楼2013-01-03 09:58:12

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