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adamssu

金虫 (小有名气)

[交流] 为什么磁控溅射使用射频电源时功率会慢慢变小?

我在使用磁控溅射沉积薄膜时,使用射频电源作为靶的电源,沉积2小时,刚开始时功率调到200W,可是到沉积结束时功率下降到140W左右了,电流、电压以及自偏压都下降了,请问高手这是怎么回事?要怎么解决?
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imrking

荣誉版主 (著名写手)

这可能跟你的靶面不清洁有关系.
下雨了,别忘了打伞,湿身是小,淋病就麻烦啦~~~:)
2楼2007-07-24 09:30:15
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笨笨鸟

荣誉版主 (知名作家)

good good study, day day up

这个问题俺一直没遇到过

影响功率的原因很多,不过定了电压的话一般是不会变的了
气压会改变电流
深度潜水
3楼2007-07-24 10:30:23
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