| 查看: 247 | 回复: 2 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
[交流]
为什么磁控溅射使用射频电源时功率会慢慢变小?
|
|||
| 我在使用磁控溅射沉积薄膜时,使用射频电源作为靶的电源,沉积2小时,刚开始时功率调到200W,可是到沉积结束时功率下降到140W左右了,电流、电压以及自偏压都下降了,请问高手这是怎么回事?要怎么解决? |
回复此楼» 猜你喜欢
考研英一数一338分
已经有5人回复
-
085801电气专硕272求调剂
已经有6人回复
-
材料工程085601，270求调剂
已经有38人回复
-
2026 WR青拔
已经有4人回复
-
327求调剂
已经有13人回复
-
一志愿085502，267分求调剂
已经有17人回复
-
302求调剂
已经有3人回复
-
求调剂
已经有4人回复
-
335求调剂
已经有14人回复
-
考研求调剂
已经有6人回复
imrking
荣誉版主 (著名写手)
- 应助: 17 (小学生)
- 贵宾: 9.05
- 金币: 4827.8
- 散金: 15
- 红花: 1
- 帖子: 2468
- 在线: 125.8小时
- 虫号: 56287
- 注册: 2005-01-06
- 性别: GG
- 专业: 计算机软件
- 管辖: 无机非金属
2楼2007-07-24 09:30:15
笨笨鸟
荣誉版主 (知名作家)
good good study, day day up
- 应助: 0 (幼儿园)
- 贵宾: 14.5
- 金币: 4277.2
- 帖子: 9961
- 在线: 2.9小时
- 虫号: 73271
- 注册: 2005-06-06
3楼2007-07-24 10:30:23
