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椭偏仪的基础问题(课程实验)
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| 我做了使用椭偏仪测量硅片的n,k值随入射角的变化,请问理论上材料的n,k值是否会随入射角变化?变化是否有规律? 还有为什么入射角不能太小呢?仅仅是机械的原因么? |
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椭偏测量 |
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2楼2012-11-28 09:52:59
3楼2012-11-28 13:42:38
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4楼2012-11-28 21:40:42
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5楼2012-11-29 11:00:47
mengyonghong
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【答案】应助回帖
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(1)n,k反应的是物质和光相互作用时表现出的宏观光学性质,对于确定的材料,只要材料的外在条件不变,此时的n、k是不变的。要说明的是:n、k是波长的函数,在很多时候还是温度的函数。 对于你的椭偏测试中,仅改变入射角度,测量的结果应该是一样的。 如果存在显著差异,主要原始是:(a)仪器的误差;(b)仪器在各角度下测量的Psi和Delta的精度不同。 (2)仪器的入射角度不能太小,主要原因是:(a)不同角度下的测量精度不同,最佳的测量角度是在其布儒斯特角附近。对于常见的块状材料,如玻璃,其折射率n>1,入射角度应该大于45°;(b)在极限情况下,即入射角度为0时,椭偏测量失去了条件,此时p光和s光合二为一了,因此已无法测量;(c)当然,与仪器的机械设计也是有关系的,通常的样品(不包括金属),一般入射角度都>40°,所以厂家在设计时实际上不需要太小的角度。 |
6楼2013-02-06 06:50:22













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