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317001626

金虫 (小有名气)

[求助] 有大侠可以提供 Ti 薄膜的刻蚀液配方吗?


如题,本人在用磁控溅射做复合镀层,然后在镀层上图形;
第一层镀的钛,第二层镀的金,第三层镀的铬。
金和铬的配方都有了,但是洗掉钛的配方没有一个准确的;
有大侠可以提供一个精确的,、权威的,洗掉钛的溶液配方吗?

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九九98八八

金虫 (小有名气)

你好,可否告知反应方程式呢?老板要我找出来,找了一天了都没有找到呢。
路很长,慢慢一步步走
5楼2014-10-10 16:43:15
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317001626

金虫 (小有名气)

请大家踊跃发言~~~
2楼2012-11-20 15:09:21
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流 2012-11-20 18:43:18
317001626: 金币+5, ★★★★★最佳答案, 谢谢咯 2012-12-14 08:54:44
3楼2012-11-20 17:23:30
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317001626

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-20 17:23:30
http://microlab.berkeley.edu/labmanual/chap1/JMEMSEtchRates2(2003).pdf
http://engineering.dartmouth.edu/microeng/processing/etching/metal.etch.html#Ti

谢谢哦
4楼2012-11-21 11:46:39
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