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317001626金虫 (小有名气)
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有大侠可以提供 Ti 薄膜的刻蚀液配方吗?
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![]() ![]() ![]() ![]() ![]() 如题,本人在用磁控溅射做复合镀层,然后在镀层上图形; 第一层镀的钛,第二层镀的金,第三层镀的铬。 金和铬的配方都有了,但是洗掉钛的配方没有一个准确的; 有大侠可以提供一个精确的,、权威的,洗掉钛的溶液配方吗? ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
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薄膜材料和器件制备 |
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2楼2012-11-20 15:09:21
yswyx
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http://microlab.berkeley.edu/lab ... tchRates2(2003).pdf http://engineering.dartmouth.edu ... /metal.etch.html#Ti |
3楼2012-11-20 17:23:30
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九九98八八
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