| 查看: 694 | 回复: 4 | ||||
317001626金虫 (小有名气)
|
[求助]
有大侠可以提供 Ti 薄膜的刻蚀液配方吗？
|
 如题，本人在用磁控溅射做复合镀层，然后在镀层上图形； 第一层镀的钛，第二层镀的金，第三层镀的铬。 金和铬的配方都有了，但是洗掉钛的配方没有一个准确的； 有大侠可以提供一个精确的，、权威的，洗掉钛的溶液配方吗？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜材料和器件制备 |
» 猜你喜欢
三无产品还有机会吗
已经有3人回复
-
投稿返修后收到这样的回复，还有希望吗
已经有7人回复
-
压汞仪和BET测气凝胶孔隙率
已经有4人回复
-
博士申请都是内定的吗？
已经有14人回复
-
谈谈两天一夜的“延安行”
已经有13人回复
-
氨基封端PDMS和HDI反应快速固化
已经有11人回复
-
之前让一硕士生水了7个发明专利，现在这7个获批发明专利的维护费可从哪儿支出哈？
已经有11人回复
-
论文投稿求助
已经有4人回复
-
Applied Surface Science 这个期刊。有哪位虫友投过的能把word模板发给我参考一下嘛
已经有3人回复
-
投稿精细化工
已经有6人回复
317001626
金虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 1124.1
- 散金: 10
- 红花: 2
- 帖子: 127
- 在线: 51小时
- 虫号: 1246967
- 注册: 2011-03-27
- 专业: 金属材料表面科学与工程
2楼2012-11-20 15:09:21
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流 2012-11-20 18:43:18
317001626: 金币+5, ★★★★★最佳答案, 谢谢咯 2012-12-14 08:54:44
感谢参与，应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流 2012-11-20 18:43:18
317001626: 金币+5, ★★★★★最佳答案, 谢谢咯 2012-12-14 08:54:44
|
http://microlab.berkeley.edu/lab ... tchRates2(2003).pdf http://engineering.dartmouth.edu ... /metal.etch.html#Ti |
3楼2012-11-20 17:23:30
317001626
金虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 1124.1
- 散金: 10
- 红花: 2
- 帖子: 127
- 在线: 51小时
- 虫号: 1246967
- 注册: 2011-03-27
- 专业: 金属材料表面科学与工程
4楼2012-11-21 11:46:39
九九98八八
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1440.5
- 散金: 50
- 红花: 3
- 帖子: 92
- 在线: 52.4小时
- 虫号: 1519346
- 注册: 2011-12-01
- 性别: MM
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
5楼2014-10-10 16:43:15