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有大侠可以提供 Ti 薄膜的刻蚀液配方吗？
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 如题，本人在用磁控溅射做复合镀层，然后在镀层上图形； 第一层镀的钛，第二层镀的金，第三层镀的铬。 金和铬的配方都有了，但是洗掉钛的配方没有一个准确的； 有大侠可以提供一个精确的，、权威的，洗掉钛的溶液配方吗？ |
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 薄膜材料和器件制备 |
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2楼2012-11-20 15:09:21
yswyx 
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http://microlab.berkeley.edu/lab ... tchRates2(2003).pdf http://engineering.dartmouth.edu ... /metal.etch.html#Ti |
3楼2012-11-20 17:23:30
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