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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 请问非晶硅和单晶硅如何实现选择性刻蚀？
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281334055

木虫 (正式写手)

[交流] 请问非晶硅和单晶硅如何实现选择性刻蚀？

请问各位，HF溶液一般刻蚀单晶硅很慢，刻蚀非晶硅的速率会不会快很多？有什么办法可以在非晶硅和单晶硅之间有很好的选择比呢？
谢谢。
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1楼 2012-11-14 20:27:52
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jackyoung23

铜虫 (正式写手)
★
281334055(金币+1): 谢谢参与
可以考虑用干法刻蚀试试。SF6的刻蚀效果不错。
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4楼2012-11-17 12:03:52
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
281334055(金币+1): 谢谢参与
HF对非晶硅也没着儿。
选择比，只能查腐蚀速率的表了。去水木mems版问问，也许有人知道。
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2楼2012-11-15 19:37:51
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highpy

木虫 (知名作家)
★
281334055(金币+1): 谢谢参与
只能依靠刻蚀选择比了
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3楼2012-11-17 08:42:37
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