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281334055

木虫 (正式写手)


[交流] 请问非晶硅和单晶硅如何实现选择性刻蚀?

请问各位,HF溶液一般刻蚀单晶硅很慢,刻蚀非晶硅的速率会不会快很多?有什么办法可以在非晶硅和单晶硅之间有很好的选择比呢?
谢谢。
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281334055(金币+1): 谢谢参与
HF对非晶硅也没着儿。
选择比,只能查腐蚀速率的表了。去水木mems版问问,也许有人知道。
2楼2012-11-15 19:37:51
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highpy

木虫 (知名作家)



281334055(金币+1): 谢谢参与
只能依靠刻蚀选择比了
3楼2012-11-17 08:42:37
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jackyoung23

铜虫 (正式写手)



281334055(金币+1): 谢谢参与
可以考虑用干法刻蚀试试。SF6的刻蚀效果不错。
4楼2012-11-17 12:03:52
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简单回复
2012-11-19 15:58   回复  
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