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[交流]
请问非晶硅和单晶硅如何实现选择性刻蚀？
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请问各位，HF溶液一般刻蚀单晶硅很慢，刻蚀非晶硅的速率会不会快很多？有什么办法可以在非晶硅和单晶硅之间有很好的选择比呢？ 谢谢。 |
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 非晶硅 |
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