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lyz8431

金虫 (小有名气)

[求助] 关于四探针法测薄膜电阻率如何修正的疑问

今天小弟看《无机材料物理性能》一书的时候看到这么一段,详情见图。

想请问木虫各位高手,如果是薄膜应该如何修正。
这些修正和薄膜的哪些参数有什么样的关系?最好给出公式和出处。
拜谢。
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sunzero

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
lyz8431: 金币+5, ★★★很有帮助, 好吧,我去看看。多谢了。 2012-11-14 13:34:05
看孙以材教授的《半导体测试技术》
2楼2012-11-13 18:06:34
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