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关于四探针法测薄膜电阻率如何修正的疑问
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今天小弟看《无机材料物理性能》一书的时候看到这么一段，详情见图。 想请问木虫各位高手，如果是薄膜应该如何修正。 这些修正和薄膜的哪些参数有什么样的关系？最好给出公式和出处。 拜谢。 |
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sunzero
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2楼2012-11-13 18:06:34