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zhengzhimeng

新虫 (小有名气)


[交流] su-8胶开裂

各位虫友,想询问一下大家,我用su-8胶做结构,结果曝光、85℃后烘40分钟、随炉冷却取出后发现胶很明显的开裂,这是什么原因呢,求高手指点。

[ Last edited by zhengzhimeng on 2012-11-8 at 15:14 ]
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ThxVV

木虫 (著名写手)



zhengzhimeng(金币+1): 谢谢参与
HEV90
2楼2012-11-08 15:30:53
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zhengzhimeng(金币+1): 谢谢参与
厚度多少还是要说明一下的。
引起开裂的原因主要是烘烤的问题。比如soft baking的时候,是不是严格按照阶梯升温做的。后烘的时候,是不是按照阶梯升温的速率升上去的。降温的时候有没有按照阶梯降温做。
对付开裂最好的办法就是降低升降温的速度,而且,尽量用热板,不要用烘箱。烘箱的热是由外而内的,胶表面会形成硬壳,不利于内部溶剂挥发,造成应力集中而破裂。
5楼2012-11-08 15:50:45
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binbint

木虫 (小有名气)



zhengzhimeng(金币+1): 谢谢参与
后烘应该先PEb1,60度左右,然后PEB2,85度,后烘时间一般不能太长,SU-8会随着烘烤时间变长而慢慢硬化,内应力开始积聚,su8膜中的内应力达到临界应力时,膜层就会出现开裂。
6楼2012-11-08 16:24:22
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userhung

禁虫 (文学泰斗)



zhengzhimeng(金币+1): 谢谢参与
7楼2012-11-08 16:57:05
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dang阿春

新虫 (初入文坛)



zhengzhimeng(金币+1): 谢谢参与
学习了
8楼2018-04-09 01:34:22
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简单回复
钕铁硼3楼
2012-11-08 15:33   回复  
zhengzhimeng(金币+1): 谢谢参与
D11402fc4楼
2012-11-08 15:35   回复  
zhengzhimeng(金币+1): 谢谢参与
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