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[交流]
su-8胶开裂
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各位虫友，想询问一下大家，我用su-8胶做结构，结果曝光、85℃后烘40分钟、随炉冷却取出后发现胶很明显的开裂，这是什么原因呢，求高手指点。 [ Last edited by zhengzhimeng on 2012-11-8 at 15:14 ] |
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 yswyx的关于光刻的各种回复 | 实验们 |
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7楼2012-11-08 16:57:05
yswyx 
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5楼2012-11-08 15:50:45
6楼2012-11-08 16:24:22