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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » su-8胶开裂
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zhengzhimeng

新虫 (小有名气)

[交流] su-8胶开裂

各位虫友，想询问一下大家，我用su-8胶做结构，结果曝光、85℃后烘40分钟、随炉冷却取出后发现胶很明显的开裂，这是什么原因呢，求高手指点。

[ Last edited by zhengzhimeng on 2012-11-8 at 15:14 ]
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1楼 2012-11-08 15:12:13
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userhung

禁虫 (文学泰斗)
★
zhengzhimeng(金币+1): 谢谢参与
http://www.docin.com/p-74662341.html
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7楼2012-11-08 16:57:05
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
zhengzhimeng(金币+1): 谢谢参与
厚度多少还是要说明一下的。
引起开裂的原因主要是烘烤的问题。比如soft baking的时候，是不是严格按照阶梯升温做的。后烘的时候，是不是按照阶梯升温的速率升上去的。降温的时候有没有按照阶梯降温做。
对付开裂最好的办法就是降低升降温的速度，而且，尽量用热板，不要用烘箱。烘箱的热是由外而内的，胶表面会形成硬壳，不利于内部溶剂挥发，造成应力集中而破裂。
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5楼2012-11-08 15:50:45
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binbint

木虫 (小有名气)
★
zhengzhimeng(金币+1): 谢谢参与
后烘应该先PEb1，60度左右，然后PEB2，85度，后烘时间一般不能太长，SU-8会随着烘烤时间变长而慢慢硬化，内应力开始积聚，su8膜中的内应力达到临界应力时，膜层就会出现开裂。
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6楼2012-11-08 16:24:22
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