24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
汕头大学海洋科学接受调剂
查看: 1094  |  回复: 7
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

zhengzhimeng

新虫 (小有名气)


[交流] su-8胶开裂

各位虫友,想询问一下大家,我用su-8胶做结构,结果曝光、85℃后烘40分钟、随炉冷却取出后发现胶很明显的开裂,这是什么原因呢,求高手指点。

[ Last edited by zhengzhimeng on 2012-11-8 at 15:14 ]
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

yswyx的关于光刻的各种回复 实验们

» 猜你喜欢

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

userhung

禁虫 (文学泰斗)


7楼2012-11-08 16:57:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

zhengzhimeng(金币+1): 谢谢参与
厚度多少还是要说明一下的。
引起开裂的原因主要是烘烤的问题。比如soft baking的时候,是不是严格按照阶梯升温做的。后烘的时候,是不是按照阶梯升温的速率升上去的。降温的时候有没有按照阶梯降温做。
对付开裂最好的办法就是降低升降温的速度,而且,尽量用热板,不要用烘箱。烘箱的热是由外而内的,胶表面会形成硬壳,不利于内部溶剂挥发,造成应力集中而破裂。
5楼2012-11-08 15:50:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

binbint

木虫 (小有名气)



zhengzhimeng(金币+1): 谢谢参与
后烘应该先PEb1,60度左右,然后PEB2,85度,后烘时间一般不能太长,SU-8会随着烘烤时间变长而慢慢硬化,内应力开始积聚,su8膜中的内应力达到临界应力时,膜层就会出现开裂。
6楼2012-11-08 16:24:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 调剂求收留 +33 果然有我 2026-04-10 34/1700 2026-04-15 00:37 by zzzggc
[考研] 求调剂 +9 小聂爱学习 2026-04-11 13/650 2026-04-14 19:18 by Art1977
[考研] 一志愿鲁东大学071000生物学学硕初试分数276求调剂 +26 慕绝cc 2026-04-09 30/1500 2026-04-14 18:50 by 蔡苏阳
[考研] 一志愿211,化学310分,本科重点双非,求调剂 +24 努力奋斗112 2026-04-08 24/1200 2026-04-14 18:02 by lhj2009
[考研] 材料299专硕求调剂 +16 +21 2026-04-09 16/800 2026-04-14 17:06 by jiangguiquan11
[考研] 284求调剂 +17 让我上岸吧阿西 2026-04-09 17/850 2026-04-14 14:44 by 不我拉绿卡
[考研] 求调剂 +16 雪逢冬 2026-04-10 16/800 2026-04-14 14:27 by 逆水乘风
[考研] 105500药学求调剂 +4 x_skys 2026-04-12 4/200 2026-04-14 13:37 by rndfc
[考研] 085600材料与化工329分求调剂 +24 叶zilin 2026-04-13 25/1250 2026-04-14 09:20 by 试管破裂
[考研] 机械工程313分找工科调剂 +4 双一流本科机械 2026-04-08 4/200 2026-04-14 07:32 by Abskk
[考研] 310求调剂 +15 666真好 2026-04-11 17/850 2026-04-13 22:27 by pies112
[考研] 求调剂,985材料与化工348分 +9 涵竹刘 2026-04-11 14/700 2026-04-13 22:26 by 涵竹刘
[教师之家] 山东双非院校考核超级无底线,领导幸灾乐祸,教师遭殃恐 +3 qut2026 2026-04-11 7/350 2026-04-12 20:24 by qut2026
[找工作] 山东高校教师考核超级无底线,员工过不下去啦 +4 qut2026 2026-04-09 9/450 2026-04-12 00:54 by qut2026
[考研] 283求调剂,工科! +12 苏打水7777 2026-04-08 12/600 2026-04-11 10:28 by 逆水乘风
[考研] 284求调剂 +12 archer.. 2026-04-10 13/650 2026-04-11 08:44 by zhq0425
[考研] 考研调剂 +26 硕星赴 2026-04-09 27/1350 2026-04-10 22:24 by 猪会飞
[论文投稿] 求助文献原文 10+3 18500821399 2026-04-08 3/150 2026-04-09 16:56 by 北京莱茵润色
[考研] 311求调剂 +6 surte 2026-04-08 13/650 2026-04-09 14:00 by surte
[考研] 086004 求调剂 309 +7 Yin DY 2026-04-08 7/350 2026-04-09 13:59 by Delta2012
信息提示
请填处理意见