24小时热门版块排行榜    

查看: 1068  |  回复: 7

zhengzhimeng

新虫 (小有名气)


[交流] su-8胶开裂

各位虫友,想询问一下大家,我用su-8胶做结构,结果曝光、85℃后烘40分钟、随炉冷却取出后发现胶很明显的开裂,这是什么原因呢,求高手指点。

[ Last edited by zhengzhimeng on 2012-11-8 at 15:14 ]
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

yswyx的关于光刻的各种回复 实验们

» 猜你喜欢

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ThxVV

木虫 (著名写手)



zhengzhimeng(金币+1): 谢谢参与
HEV90
2楼2012-11-08 15:30:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhengzhimeng(金币+1): 谢谢参与
厚度多少还是要说明一下的。
引起开裂的原因主要是烘烤的问题。比如soft baking的时候,是不是严格按照阶梯升温做的。后烘的时候,是不是按照阶梯升温的速率升上去的。降温的时候有没有按照阶梯降温做。
对付开裂最好的办法就是降低升降温的速度,而且,尽量用热板,不要用烘箱。烘箱的热是由外而内的,胶表面会形成硬壳,不利于内部溶剂挥发,造成应力集中而破裂。
5楼2012-11-08 15:50:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

binbint

木虫 (小有名气)



zhengzhimeng(金币+1): 谢谢参与
后烘应该先PEb1,60度左右,然后PEB2,85度,后烘时间一般不能太长,SU-8会随着烘烤时间变长而慢慢硬化,内应力开始积聚,su8膜中的内应力达到临界应力时,膜层就会出现开裂。
6楼2012-11-08 16:24:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

userhung

禁虫 (文学泰斗)



zhengzhimeng(金币+1): 谢谢参与
7楼2012-11-08 16:57:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dang阿春

新虫 (初入文坛)



zhengzhimeng(金币+1): 谢谢参与
学习了
8楼2018-04-09 01:34:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
钕铁硼3楼
2012-11-08 15:33   回复  
zhengzhimeng(金币+1): 谢谢参与
D11402fc4楼
2012-11-08 15:35   回复  
zhengzhimeng(金币+1): 谢谢参与
相关版块跳转 我要订阅楼主 zhengzhimeng 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0856化工专硕求调剂 +12 董boxing 2026-03-01 12/600 2026-03-01 19:45 by 材子momo
[考研] 298求调剂 +6 axyz3 2026-02-28 6/300 2026-03-01 19:00 by 18137688336
[考研] 一志愿中南大学理学化学 +4 15779376950 2026-03-01 5/250 2026-03-01 19:00 by Fff-1
[考研] 材料学调剂 +9 提神豆沙包 2026-02-28 11/550 2026-03-01 18:15 by ms629
[考博] 26申博 +4 想申博! 2026-02-26 6/300 2026-03-01 17:32 by 想申博!
[考研] 化工专硕348,一志愿985求调剂 +5 弗格个 2026-02-28 8/400 2026-03-01 17:25 by sunny81
[考研] 290求调剂 +9 材料专硕调剂; 2026-02-28 11/550 2026-03-01 17:21 by sunny81
[基金申请] 刚录用,没有期刊号,但是在线可看的论文可以放为代表作吗 10+3 arang1 2026-03-01 3/150 2026-03-01 16:43 by babero
[考研] 0856调剂 +4 刘梦微 2026-02-28 4/200 2026-03-01 15:35 by 吸一口猫气
[考研] 304求调剂 +6 曼殊2266 2026-02-28 7/350 2026-03-01 15:14 by wjLi2017
[考研] 303求调剂 +4 今夏不夏 2026-03-01 4/200 2026-03-01 14:46 by 嘟嘟小浣熊
[考研] 课题组接收材料类调剂研究生 +3 gaoxiaoniuma 2026-02-28 4/200 2026-03-01 14:30 by jjj三跨
[考研] 284求调剂 +6 天下熯 2026-02-28 6/300 2026-03-01 14:19 by Ducount.Y
[考研] 317一志愿华南理工电气工程求调剂 +6 Soliloquy_Q 2026-02-28 11/550 2026-03-01 11:14 by 歌liekkas
[考研] 寻找调剂 +4 LYidhsjabdj 2026-02-28 4/200 2026-03-01 10:56 by sunny81
[硕博家园] 博士自荐 +6 科研狗111 2026-02-26 10/500 2026-03-01 10:02 by 科研狗111
[考研] 272求调剂 +4 田智友 2026-02-28 4/200 2026-03-01 06:43 by 刘兵
[考研] 292求调剂 +3 yhk_819 2026-02-28 3/150 2026-02-28 21:57 by gaoxiaoniuma
[高分子] 求环氧树脂研发1名 +3 孙xc 2026-02-25 11/550 2026-02-28 16:57 by ichall
[硕博家园] 【博士招生】太原理工大学2026化工博士 +4 N1ce_try 2026-02-24 8/400 2026-02-26 08:40 by N1ce_try
信息提示
请填处理意见