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zhufu878

金虫 (正式写手)

[求助] BiFeO3薄膜旋涂烧结后,电阻怎么提不高啊?

最近采用溶胶凝胶法制备铁酸铋薄膜,在pt/Ti/siO2/Si基片上旋涂,每层都能看到均匀涂上了,每层在400度热解,重复十几次后,测电阻很大,没问题,然后在600度退火处理,结果有的片子电阻依然很大,没问题,而有的片子电阻很小,才几个欧姆,和电极的电阻一样大,求助做这方面的大侠,这是怎么回事啊,怎么这么不稳定呢?如何避免呢?
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chenbo2011

木虫 (小有名气)


蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-11-08 08:31:31
你用扫描电镜看一下断面,是致密的连续膜还是疏散的粒子膜。如果是后者,那就是上下电极形成通路,薄膜被短路掉了。
2楼2012-11-07 22:05:01
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zhufu878

金虫 (正式写手)

上面没有电极啊,用万用表在薄膜表面测得,有的超过万用表的最大量程20兆欧,有的只有几欧,和底电极pt的电阻一样大
3楼2012-11-07 22:42:25
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wu1008

金虫 (著名写手)

BFO本来就比较难长好,慢慢摸索一下工艺
4楼2012-11-08 10:33:36
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锋牙琳

金虫 (小有名气)

楼主,最近我用CSD方法旋涂长的BFO薄膜也是一些地方电阻大一些地方小,这可能是薄膜出现了一些缺陷,例如孔洞之类!
5楼2013-04-03 17:05:40
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步

【答案】应助回帖

不均匀啊……有bio、feo啊。长电极测比较靠谱
善良
6楼2013-05-05 11:39:12
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chengsl1122

新虫 (初入文坛)

楼主你后来做得怎么样了?我做的铁酸铋薄膜电阻都不大啊
7楼2013-11-17 22:08:28
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