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BiFeO3薄膜旋涂烧结后,电阻怎么提不高啊?
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| 最近采用溶胶凝胶法制备铁酸铋薄膜,在pt/Ti/siO2/Si基片上旋涂,每层都能看到均匀涂上了,每层在400度热解,重复十几次后,测电阻很大,没问题,然后在600度退火处理,结果有的片子电阻依然很大,没问题,而有的片子电阻很小,才几个欧姆,和电极的电阻一样大,求助做这方面的大侠,这是怎么回事啊,怎么这么不稳定呢?如何避免呢? |
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chenbo2011
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