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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » BiFeO3薄膜旋涂烧结后，电阻怎么提不高啊？
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zhufu878

金虫 (正式写手)

[求助] BiFeO3薄膜旋涂烧结后，电阻怎么提不高啊？

最近采用溶胶凝胶法制备铁酸铋薄膜，在pt/Ti/siO2/Si基片上旋涂，每层都能看到均匀涂上了，每层在400度热解，重复十几次后，测电阻很大，没问题，然后在600度退火处理，结果有的片子电阻依然很大，没问题，而有的片子电阻很小，才几个欧姆，和电极的电阻一样大，求助做这方面的大侠，这是怎么回事啊，怎么这么不稳定呢？如何避免呢？
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1楼 2012-11-07 21:24:15
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锋牙琳

金虫 (小有名气)
楼主，最近我用CSD方法旋涂长的BFO薄膜也是一些地方电阻大一些地方小，这可能是薄膜出现了一些缺陷，例如孔洞之类！
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5楼2013-04-03 17:05:40
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chenbo2011

木虫 (小有名气)
★
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-11-08 08:31:31
你用扫描电镜看一下断面，是致密的连续膜还是疏散的粒子膜。如果是后者，那就是上下电极形成通路，薄膜被短路掉了。
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2楼2012-11-07 22:05:01
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zhufu878

金虫 (正式写手)
上面没有电极啊，用万用表在薄膜表面测得，有的超过万用表的最大量程20兆欧，有的只有几欧，和底电极pt的电阻一样大
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3楼2012-11-07 22:42:25
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wu1008

金虫 (著名写手)
BFO本来就比较难长好，慢慢摸索一下工艺
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4楼2012-11-08 10:33:36
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