24小时热门版块排行榜    

查看: 1341  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

zhufu878

金虫 (正式写手)

[求助] BiFeO3薄膜旋涂烧结后,电阻怎么提不高啊?

最近采用溶胶凝胶法制备铁酸铋薄膜,在pt/Ti/siO2/Si基片上旋涂,每层都能看到均匀涂上了,每层在400度热解,重复十几次后,测电阻很大,没问题,然后在600度退火处理,结果有的片子电阻依然很大,没问题,而有的片子电阻很小,才几个欧姆,和电极的电阻一样大,求助做这方面的大侠,这是怎么回事啊,怎么这么不稳定呢?如何避免呢?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhufu878

金虫 (正式写手)

上面没有电极啊,用万用表在薄膜表面测得,有的超过万用表的最大量程20兆欧,有的只有几欧,和底电极pt的电阻一样大
3楼2012-11-07 22:42:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

chenbo2011

木虫 (小有名气)


蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-11-08 08:31:31
你用扫描电镜看一下断面,是致密的连续膜还是疏散的粒子膜。如果是后者,那就是上下电极形成通路,薄膜被短路掉了。
2楼2012-11-07 22:05:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wu1008

金虫 (著名写手)

BFO本来就比较难长好,慢慢摸索一下工艺
4楼2012-11-08 10:33:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

锋牙琳

金虫 (小有名气)

楼主,最近我用CSD方法旋涂长的BFO薄膜也是一些地方电阻大一些地方小,这可能是薄膜出现了一些缺陷,例如孔洞之类!
5楼2013-04-03 17:05:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
信息提示
请填处理意见