| 查看: 1551 | 回复: 9 | ||||
6sbiam至尊木虫 (著名写手)
|
[求助]
3D轮廓图上的金网格怎么看都象金格嵌入到石英板里面了，为什么？
|
|
今天对石英板上刻印的微米级金网格进行了3D轮廓测试，结果很奇怪，金格好像嵌入到石英板里面似的，高度线也出现了负的，怎么解释？ 谢谢！ |
回复此楼» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有260人回复
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2012-11-07 00:37:15
6sbiam
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 贵宾: 0.01
- 金币: 16186.3
- 散金: 768
- 红花: 15
- 帖子: 1661
- 在线: 401.1小时
- 虫号: 631853
- 注册: 2008-10-20
- 性别: GG
- 专业: 涂料
3楼2012-11-07 05:54:17
6sbiam
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 贵宾: 0.01
- 金币: 16186.3
- 散金: 768
- 红花: 15
- 帖子: 1661
- 在线: 401.1小时
- 虫号: 631853
- 注册: 2008-10-20
- 性别: GG
- 专业: 涂料
4楼2012-11-07 06:14:50
6sbiam
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 贵宾: 0.01
- 金币: 16186.3
- 散金: 768
- 红花: 15
- 帖子: 1661
- 在线: 401.1小时
- 虫号: 631853
- 注册: 2008-10-20
- 性别: GG
- 专业: 涂料
5楼2012-11-07 06:23:14
6sbiam
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 贵宾: 0.01
- 金币: 16186.3
- 散金: 768
- 红花: 15
- 帖子: 1661
- 在线: 401.1小时
- 虫号: 631853
- 注册: 2008-10-20
- 性别: GG
- 专业: 涂料
6楼2012-11-07 14:39:36
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
【答案】应助回帖
★
yanhualover: 金币+1, 谢谢专家指导，值得鼓励。 2013-02-06 16:38:09
yanhualover: 金币+1, 谢谢专家指导，值得鼓励。 2013-02-06 16:38:09
|
这个啊，一般是由于你的金网格在根部有footing造成的。就是你的金的剖面是个几字型。 白光干涉测量高度是有角度限制的，也就是光打下来，再反射回去测量，如果光打到一个斜面上，斜面角度大到一定程度的时候，反射光就回不到光路里面了，或者返还的信息就不完全了。这个时候测量出来的数据就是假的。 你的金线条的剖面是几字型，所以在根部存在这种出假数据的斜面。一般来说，你可以直接把这些假数据忽略掉，但是抱歉起见，可以用别的手段验证一下最终结果，比如台阶仪或者共聚焦。 |
7楼2012-11-07 16:16:29
6sbiam
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 贵宾: 0.01
- 金币: 16186.3
- 散金: 768
- 红花: 15
- 帖子: 1661
- 在线: 401.1小时
- 虫号: 631853
- 注册: 2008-10-20
- 性别: GG
- 专业: 涂料
8楼2012-11-07 16:25:50
6sbiam
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 贵宾: 0.01
- 金币: 16186.3
- 散金: 768
- 红花: 15
- 帖子: 1661
- 在线: 401.1小时
- 虫号: 631853
- 注册: 2008-10-20
- 性别: GG
- 专业: 涂料
9楼2012-11-07 16:40:19
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
10楼2012-11-07 17:03:09
30