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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 3D轮廓图上的金网格怎么看都象金格嵌入到石英板里面了，为什么？
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6sbiam

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 3D轮廓图上的金网格怎么看都象金格嵌入到石英板里面了，为什么？

今天对石英板上刻印的微米级金网格进行了3D轮廓测试，结果很奇怪，金格好像嵌入到石英板里面似的，高度线也出现了负的，怎么解释？

谢谢！
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1楼 2012-11-06 23:07:42
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
9楼: Originally posted by 6sbiam at 2012-11-07 16:40:19
专家就是专家！谢谢！
按照图上的数据，高度是不是就是200纳米？测试的网格高度与实际太不符了。...

不一定的，因为不知道你的白光干涉是什么个算法，以什么为基准的，高度的计算是不是做累计上去的。
所以，最好是拿台阶仪扫一下做个印证。
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10楼2012-11-07 17:03:09
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
kunpeng1782: 金币+4, 专家考核, 专家指导 2012-11-07 11:43:38
拿啥测的？共聚焦显微镜？AFM？还是白光干涉光学轮廓仪
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2楼2012-11-07 00:37:15
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6sbiam

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-07 00:37:15
拿啥测的？共聚焦显微镜？AFM？还是白光干涉光学轮廓仪

白光干涉光学轮廓仪
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3楼2012-11-07 05:54:17
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6sbiam

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 6sbiam at 2012-11-07 06:14:50
附上图吧

图在这里

5 X50-3D.jpg



5 X50-H.jpg
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5楼2012-11-07 06:23:14
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