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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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6sbiam

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 3D轮廓图上的金网格怎么看都象金格嵌入到石英板里面了,为什么?

今天对石英板上刻印的微米级金网格进行了3D轮廓测试,结果很奇怪,金格好像嵌入到石英板里面似的,高度线也出现了负的,怎么解释?

谢谢!
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
9楼: Originally posted by 6sbiam at 2012-11-07 16:40:19
专家就是专家!谢谢!
按照图上的数据,高度是不是就是200纳米?测试的网格高度与实际太不符了。...

不一定的,因为不知道你的白光干涉是什么个算法,以什么为基准的,高度的计算是不是做累计上去的。
所以,最好是拿台阶仪扫一下做个印证。
10楼2012-11-07 17:03:09
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
kunpeng1782: 金币+4, 专家考核, 专家指导 2012-11-07 11:43:38
拿啥测的?共聚焦显微镜?AFM?还是白光干涉光学轮廓仪
2楼2012-11-07 00:37:15
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6sbiam

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-07 00:37:15
拿啥测的?共聚焦显微镜?AFM?还是白光干涉光学轮廓仪

白光干涉光学轮廓仪
3楼2012-11-07 05:54:17
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6sbiam

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 6sbiam at 2012-11-07 06:14:50
附上图吧

图在这里

5 X50-3D.jpg



5 X50-H.jpg

5楼2012-11-07 06:23:14
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