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6sbiam至尊木虫 (著名写手)
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3D轮廓图上的金网格怎么看都象金格嵌入到石英板里面了，为什么？
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今天对石英板上刻印的微米级金网格进行了3D轮廓测试，结果很奇怪，金格好像嵌入到石英板里面似的，高度线也出现了负的，怎么解释？ 谢谢！ |
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yswyx 
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【答案】应助回帖
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yanhualover: 金币+1, 谢谢专家指导，值得鼓励。 2013-02-06 16:38:09
yanhualover: 金币+1, 谢谢专家指导，值得鼓励。 2013-02-06 16:38:09
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这个啊，一般是由于你的金网格在根部有footing造成的。就是你的金的剖面是个几字型。 白光干涉测量高度是有角度限制的，也就是光打下来，再反射回去测量，如果光打到一个斜面上，斜面角度大到一定程度的时候，反射光就回不到光路里面了，或者返还的信息就不完全了。这个时候测量出来的数据就是假的。 你的金线条的剖面是几字型，所以在根部存在这种出假数据的斜面。一般来说，你可以直接把这些假数据忽略掉，但是抱歉起见，可以用别的手段验证一下最终结果，比如台阶仪或者共聚焦。 |
7楼2012-11-07 16:16:29
yswyx
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2楼2012-11-07 00:37:15
6sbiam
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3楼2012-11-07 05:54:17
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5楼2012-11-07 06:23:14