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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 气相渗硅梵音烧结碳化硅
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fly_zhouwl

金虫 (小有名气)

[求助] 气相渗硅梵音烧结碳化硅

各位虫友，我目前的有个项目是气相渗硅反应烧结碳化硅，有过几次试验，烧结温度1750度，但都不成功，坯体密度在60%左右。高手请指教，烧结的时候要注意哪些方面？最好详细点，比如装炉要点等等。非常感谢
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沧海一粟
1楼 2012-10-29 10:40:16
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fly_zhouwl

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by lzygy at 2012-10-30 13:41:49
烧成温度不是问题，这个比重也没有什么问题呀！如果单纯是一致性不好，那就考虑成型或是焙烧的问题吧！...

应该是焙烧方面的问题吧，但主要是我不知道该从哪里下手，重新烧了次，却都成了夹生！硅蒸汽压应该是关键，但如何控制是难点。另外，气渗硅对坩埚的材质要求高么？
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沧海一粟
9楼2012-10-30 15:08:34
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金星回来了

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
温度有点低了，一般要到1800
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fly_zhouwl
生命飞翔的高度，取决于你的态度!
2楼2012-10-29 20:14:38
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野鹤-紫晶阁

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我做了好多碳化硅了，你可以适当延长烧结时间！
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fly_zhouwl
一切会过去的
3楼2012-10-30 09:26:27
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fly_zhouwl

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 金星回来了 at 2012-10-29 20:14:38
温度有点低了，一般要到1800

谢谢！温度是用来控制硅蒸汽压的，1750度的蒸汽压略高于炉内的真空度（15Pa），我再试试1800度的。另外，产品和硅片的距离有要求么？
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沧海一粟
4楼2012-10-30 09:29:15
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