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fly_zhouwl

金虫 (小有名气)

[求助] 气相渗硅梵音烧结碳化硅

各位虫友,我目前的有个项目是气相渗硅反应烧结碳化硅,有过几次试验,烧结温度1750度,但都不成功,坯体密度在60%左右。高手请指教,烧结的时候要注意哪些方面?最好详细点,比如装炉要点等等。非常感谢
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沧海一粟
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野鹤-紫晶阁

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
我做了好多碳化硅了,你可以适当延长烧结时间!

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

一切会过去的
3楼2012-10-30 09:26:27
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金星回来了

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
温度有点低了,一般要到1800

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

生命飞翔的高度,取决于你的态度!
2楼2012-10-29 20:14:38
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fly_zhouwl

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 金星回来了 at 2012-10-29 20:14:38
温度有点低了,一般要到1800

谢谢!温度是用来控制硅蒸汽压的,1750度的蒸汽压略高于炉内的真空度(15Pa),我再试试1800度的。另外,产品和硅片的距离有要求么?
沧海一粟
4楼2012-10-30 09:29:15
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fly_zhouwl

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by 野鹤-紫晶阁 at 2012-10-30 09:26:27
我做了好多碳化硅了,你可以适当延长烧结时间!

烧结时间一般是多久?我保温2小时
沧海一粟
5楼2012-10-30 09:33:02
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