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fly_zhouwl

金虫 (小有名气)

[求助] 气相渗硅梵音烧结碳化硅

各位虫友,我目前的有个项目是气相渗硅反应烧结碳化硅,有过几次试验,烧结温度1750度,但都不成功,坯体密度在60%左右。高手请指教,烧结的时候要注意哪些方面?最好详细点,比如装炉要点等等。非常感谢
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沧海一粟
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金星回来了

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
温度有点低了,一般要到1800

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

生命飞翔的高度,取决于你的态度!
2楼2012-10-29 20:14:38
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野鹤-紫晶阁

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
我做了好多碳化硅了,你可以适当延长烧结时间!

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

一切会过去的
3楼2012-10-30 09:26:27
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fly_zhouwl

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 金星回来了 at 2012-10-29 20:14:38
温度有点低了,一般要到1800

谢谢!温度是用来控制硅蒸汽压的,1750度的蒸汽压略高于炉内的真空度(15Pa),我再试试1800度的。另外,产品和硅片的距离有要求么?
沧海一粟
4楼2012-10-30 09:29:15
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fly_zhouwl

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by 野鹤-紫晶阁 at 2012-10-30 09:26:27
我做了好多碳化硅了,你可以适当延长烧结时间!

烧结时间一般是多久?我保温2小时
沧海一粟
5楼2012-10-30 09:33:02
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lzygy

专家顾问 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
都反应好了吗?现在的比重是多少?强度好不好?能说的清楚一点吗?烧结影响的因素太多了,特别是这种产品如果控制不好,一年也不一定能做好!

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

6楼2012-10-30 10:34:22
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fly_zhouwl

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by lzygy at 2012-10-30 10:34:22
都反应好了吗?现在的比重是多少?强度好不好?能说的清楚一点吗?烧结影响的因素太多了,特别是这种产品如果控制不好,一年也不一定能做好!

烧结了几次,有比重大3.08的,也有3.0都不到的,一致性不好。您说的“特别是这种产品如果控制不好,一年也不一定能做好!",可以说的详细点么,哪些方面需要控制?谢谢
沧海一粟
7楼2012-10-30 13:05:07
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lzygy

专家顾问 (职业作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by fly_zhouwl at 2012-10-30 13:05:07
烧结了几次,有比重大3.08的,也有3.0都不到的,一致性不好。您说的“特别是这种产品如果控制不好,一年也不一定能做好!",可以说的详细点么,哪些方面需要控制?谢谢
...

烧成温度不是问题,这个比重也没有什么问题呀!如果单纯是一致性不好,那就考虑成型或是焙烧的问题吧!
8楼2012-10-30 13:41:49
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fly_zhouwl

金虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by lzygy at 2012-10-30 13:41:49
烧成温度不是问题,这个比重也没有什么问题呀!如果单纯是一致性不好,那就考虑成型或是焙烧的问题吧!...

应该是焙烧方面的问题吧,但主要是我不知道该从哪里下手,重新烧了次,却都成了夹生!硅蒸汽压应该是关键,但如何控制是难点。另外,气渗硅对坩埚的材质要求高么?
沧海一粟
9楼2012-10-30 15:08:34
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lzygy

专家顾问 (职业作家)

【答案】应助回帖

这个生产工艺现在都比较成熟了,你做这个研究还有什么用?
10楼2012-10-30 15:38:35
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