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fly_zhouwl

金虫 (小有名气)

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[求助] 气相渗硅梵音烧结碳化硅

各位虫友，我目前的有个项目是气相渗硅反应烧结碳化硅，有过几次试验，烧结温度1750度，但都不成功，坯体密度在60%左右。高手请指教，烧结的时候要注意哪些方面？最好详细点，比如装炉要点等等。非常感谢

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我就是申请一个面上项目而已，这评审意见是按照杰青的条件评的吧？已经有8人回复

沧海一粟

1楼 2012-10-29 10:40:16

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liuzhiyan987

铜虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

这一段，我们也接触这一产品，我看过几个厂的装窑情况，硅粒就围在坯体的周围，大概有3-4公分高，希望这一信息对你有帮助

赞一下(1人)

15楼2013-01-31 09:25:21

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查看全部 15 个回答

金星回来了

新虫 (初入文坛)

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

温度有点低了，一般要到1800

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fly_zhouwl

生命飞翔的高度，取决于你的态度!

2楼2012-10-29 20:14:38

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野鹤-紫晶阁

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

我做了好多碳化硅了，你可以适当延长烧结时间！

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fly_zhouwl

一切会过去的

3楼2012-10-30 09:26:27

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fly_zhouwl

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送鲜花一朵

引用回帖:

2楼: Originally posted by 金星回来了 at 2012-10-29 20:14:38
温度有点低了，一般要到1800

谢谢！温度是用来控制硅蒸汽压的，1750度的蒸汽压略高于炉内的真空度（15Pa），我再试试1800度的。另外，产品和硅片的距离有要求么？

沧海一粟

4楼2012-10-30 09:29:15

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