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薄膜材料中的杂质和空洞大家都用什么方法测啊？ 已有2人参与
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| 想看看薄膜中的杂质种类和大致的含量，另想看看薄膜的致密程度，不知道SEM效果怎么样?大家有什么别的方法吗？ |
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