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薄膜材料中的杂质和空洞大家都用什么方法测啊? 已有2人参与
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| 想看看薄膜中的杂质种类和大致的含量,另想看看薄膜的致密程度,不知道SEM效果怎么样?大家有什么别的方法吗? |
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2楼2012-10-29 07:47:37
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