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gladiater

木虫 (正式写手)

[交流] 薄膜材料中的杂质和空洞大家都用什么方法测啊? 已有2人参与

想看看薄膜中的杂质种类和大致的含量,另想看看薄膜的致密程度,不知道SEM效果怎么样?大家有什么别的方法吗?
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-29 08:01:29
SEM我用的功能就是看表面图像,它的一个附件EDS可以测试表面元素和种类,但是含量很低是测不出来的,一般也得有个百分之几吧!精确的元素分析有SIMS,但是得知道元素的种类,含量测的很准

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
奋斗。。。
2楼2012-10-29 07:47:37
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鹰羽龙

木虫 (著名写手)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-30 07:41:55
杂质做SIMS或者可以做surface profiling的XPS都可以,空洞不好说
3楼2012-10-29 08:59:05
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