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xj170701059

新虫 (小有名气)

[求助] 什么是外延法制备薄膜？不是外延法是什么方法？？

外延法制备薄膜是什么意思？非外延法有哪些，有什么区别？做出来的薄膜性能有什么区别？？？
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1楼 2012-10-25 10:30:39
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silveruranus

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-26 07:54:38
外延其实是一个广泛的含义，多数来说，采用单晶衬底制备薄膜，只有薄膜和衬底的晶格常数面内严格一致才能称为外延膜。但当前外延概念用的比较宽。有晶格弛豫的有时也叫外延，这个就不好说了，lz多看些文献就明白了。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼2012-10-25 13:47:18
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wu1008

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-26 07:54:44
一个可能不是很合适的比喻，外延就是指单晶
没有什么外延法和非外延法，区别只是能实现外延和不能实现外延
薄膜有几种形态，非晶、多晶、织构和外延，这对性能肯定有非常的影响。

其实，这类基本型的问题，我觉得最好是跟你的导师讨论，毕竟面对面的交流更节省时间。
一些基本问题要讲清楚，需要涉及很多基本概念，除非有人打算长篇大论，否则你也不会清楚，而且，一般在论坛上，没人有精力给你长篇大论
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2楼2012-10-25 11:14:59
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-26 07:54:30
广泛的说，沿着衬底现有晶格生长的都叫外延，而类似的方法，但对应的不沿着晶格长的，大部分都叫沉积。
至于沉积的方法就很多了，CVD，PVD，ALD，各种D不一而足。
而对于薄膜来说，制造的方法更加多了，无机的可以蒸发，溅射，有机的可以旋涂喷涂，还有各种镀的手段。
外延的主要作用是制造两种不同材料或属性的单晶界面，至于应用，主要有异质结或者是硅片上的P＋或者N+，更具体的应用就五花八门了。主要抓住界面来理解就好。
其它的绝大部分薄膜手段都不是以界面为需求的，而是薄膜材料本身的性质。
单晶界面的制造手段还有类似SOI的键合方法，但是由于成本和工艺结果的限制，和外延的应用领域完全不同。
可以翻番半导体工艺的书，把薄膜这一章读读，大概就有概念了。
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4楼2012-10-25 18:35:35
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haodong1121

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-27 09:31:51
外延的英文是epitaxy，其本意是指“（在衬底的）上方排列”。顾名思义，就是一层一层地排列出单晶薄膜，即整个薄膜就是一取向一致的单晶。
非外延法就多了，因为毕竟不像单晶的要求那么严格，真空蒸镀（物理气相沉积、化学气相沉积）、溅射、电镀、旋涂、喷涂……
顺便说一点，外延除了制备薄膜手段严格外，对衬底的选择也很有限，因为想要外延单晶膜，必须消除因晶格失配带来的应力影响，因此衬底的晶格常数必须与薄膜的数值相同或尽量一致。
对于制备超晶格和量子阱/量子点材料而言，外延不可或缺。但是相对于沉积，外延速率是很慢的。
以上文字希望能帮到楼主。
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梦想当学霸+大牛……
5楼2012-10-26 10:15:28
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