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lu_ren2012

木虫 (小有名气)

[求助] 关于XRD测试中问题,求高人指教

测量GaAs衬底的片子时,实际上衬底具有2度的偏角,但是在测试过程中,认为衬底偏角为0度,测出RC曲线,而且在同一个片子上,用同样方法测试了三个不同的点,请问衬底偏角选着的错误对测试结果的影响有多大?用这种方法测试的三个不同点,最后拟合的结果有没有可比性,可不可以作为参考?请高手指教,非常感谢
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