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yswyx
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回复此楼11楼2012-10-19 00:11:58
【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
| 这里有su8 3000的process guideline http://microchem.com/pdf/SU-8%203000%20Data%20Sheet.pdf。你必须严格按照他们的操作过程。硅片表面的干净度直接影响结果。旋涂之前硅片必须prebake。如果粘度很厚的话，提前一天把su8液体倒出来在一个密闭的小瓶子中，不要让溶剂蒸发，否则会在表面形成一层薄膜严重影响膜的均一性。静置过夜让气泡消失。如果旋涂后还有少量小气泡，你可以不soft bake样品，让样品和膜常温过夜也可以减少气泡。 |
12楼2012-10-19 04:40:37
zhengzhimeng
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13楼2012-10-19 08:30:37
zhengzhimeng
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14楼2012-10-19 08:32:14
