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zhengzhimeng新虫 (小有名气)
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[求助]
su-8涂胶
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请问各位虫友，我现在刚用国产的SU-8 3000系列光刻胶，粘度太大了，涂胶容易有气泡，厚度还不均匀，各位有没有好的涂胶方法，求教！ |
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【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
| 这里有su8 3000的process guideline http://microchem.com/pdf/SU-8%203000%20Data%20Sheet.pdf。你必须严格按照他们的操作过程。硅片表面的干净度直接影响结果。旋涂之前硅片必须prebake。如果粘度很厚的话，提前一天把su8液体倒出来在一个密闭的小瓶子中，不要让溶剂蒸发，否则会在表面形成一层薄膜严重影响膜的均一性。静置过夜让气泡消失。如果旋涂后还有少量小气泡，你可以不soft bake样品，让样品和膜常温过夜也可以减少气泡。 |
12楼2012-10-19 04:40:37
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
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专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
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- 管辖: 微米和纳米
2楼2012-10-16 17:30:38
zhengzhimeng
新虫 (小有名气)
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- 虫号: 1315779
- 注册: 2011-06-05
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
3楼2012-10-17 13:14:54
exciting1973 
禁虫 (正式写手)
感谢参与，应助指数 +1
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本帖内容被屏蔽 |
4楼2012-10-17 14:41:23
