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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » su-8涂胶
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zhengzhimeng

新虫 (小有名气)

[求助] su-8涂胶

请问各位虫友，我现在刚用国产的SU-8 3000系列光刻胶，粘度太大了，涂胶容易有气泡，厚度还不均匀，各位有没有好的涂胶方法，求教！
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好好学习，天天向上
1楼 2012-10-16 15:57:35
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

zhengzhimeng

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-16 17:30:38
你们居然有国产的SU8？谁家做的有联系方式没有？站内短信我呗！

SU8是很容易有气泡的，一般我们都是从瓶子里直接往外倒，这样不容易有气泡。另外，你可以采用真空排泡的方式，把需要用的SU8放到小容器里面，然后 ...

嗯，谢谢，那个胶真的是太黏了，直接倒不出来，我都用玻璃棒往外弄，然后预热了才往上涂，结果就好多气泡，没找到好的涂膜的方法，再试试您说的方法吧。我们是从南京百思优买的，从网上查到的，电话025-84230316。
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好好学习，天天向上
3楼2012-10-17 13:14:54
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普通回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你们居然有国产的SU8？谁家做的有联系方式没有？站内短信我呗！

SU8是很容易有气泡的，一般我们都是从瓶子里直接往外倒，这样不容易有气泡。另外，你可以采用真空排泡的方式，把需要用的SU8放到小容器里面，然后放到真空容器中静止8小时到一天以上。

至于厚度不均匀，对于黏度大的胶来说，最好把胶先涂满片子，然后再旋转甩胶，均匀性会好很多。当然，越是厚胶，厚胶边是不可避免的，有条件的做EBR，没条件的用溶剂和棉签搞定。
当然，也有可能你的速率和气流不好，你可以试试调速率曲线，把初速调的快一点儿，涂胶的时候加个盖子等等。
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2楼2012-10-16 17:30:38
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exciting1973

禁虫 (正式写手)
感谢参与，应助指数 +1
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4楼2012-10-17 14:41:23
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

SU-8涂胶还需要预热？头回听说。
我用过最黏的SU8也是可以倒出来的，实在不行拍瓶底。按理说三四万以上黏度的都可以倒出来的，你这个SU8还真奇怪。
另外，有个办法，就是把SU8倒在针筒里面，然后排泡，然后挤到硅片上。
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5楼2012-10-17 23:06:14
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u63602422

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
SU-8加热后的确可以更容易的使用spin coating法，根据手则进行试验。你的是3000，所以可以使用针管。
既然是国产的，可以问商家如何才是最佳的涂胶方案。
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6楼2012-10-18 02:33:47
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zhengzhimeng

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by exciting1973 at 2012-10-17 14:41:23
可以试试超声除气吧。
这么厚的胶应该先对基片做下预处理，增加基片的粘附性，比如HMDS，可能会好一些。

嗯，好的，谢谢
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好好学习，天天向上
7楼2012-10-18 19:05:09
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zhengzhimeng

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-17 23:06:14
SU-8涂胶还需要预热？头回听说。
我用过最黏的SU8也是可以倒出来的，实在不行拍瓶底。按理说三四万以上黏度的都可以倒出来的，你这个SU8还真奇怪。
另外，有个办法，就是把SU8倒在针筒里面，然后排泡，然后挤到硅 ...

我也是在找涂胶的方法，你的这个办法我会尝试一下，谢谢
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好好学习，天天向上
8楼2012-10-18 19:07:39
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zhengzhimeng

新虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by u63602422 at 2012-10-18 02:33:47
SU-8加热后的确可以更容易的使用spin coating法，根据手则进行试验。你的是3000，所以可以使用针管。
既然是国产的，可以问商家如何才是最佳的涂胶方案。

嗯，加热之后再spin coating会不会影响胶的性质？
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好好学习，天天向上
9楼2012-10-18 19:14:35
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by u63602422 at 2012-10-18 02:33:47
SU-8加热后的确可以更容易的使用spin coating法，根据手则进行试验。你的是3000，所以可以使用针管。
既然是国产的，可以问商家如何才是最佳的涂胶方案。

你确定coating之前可以加热？
SU8对热是很敏感的，soft baking都是阶梯升温的，而且是要先温升到50～60度，再慢慢往上升。涂胶前把胶加热，胶会变性的。

文献看错了吧，preheat指的是硅片在涂胶前烘一下，用来去潮气的。你确定你用过SU8？
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10楼2012-10-19 00:10:17
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