应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » su-8涂胶
141/2返回列表12下一页
查看: 2620  |  回复: 13
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

zhengzhimeng

新虫 (小有名气)

[求助] su-8涂胶

请问各位虫友，我现在刚用国产的SU-8 3000系列光刻胶，粘度太大了，涂胶容易有气泡，厚度还不均匀，各位有没有好的涂胶方法，求教！
回复此楼

» 猜你喜欢
好好学习，天天向上
1楼 2012-10-16 15:57:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

zhengzhimeng

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-16 17:30:38
你们居然有国产的SU8？谁家做的有联系方式没有？站内短信我呗！

SU8是很容易有气泡的，一般我们都是从瓶子里直接往外倒，这样不容易有气泡。另外，你可以采用真空排泡的方式，把需要用的SU8放到小容器里面，然后 ...

嗯，谢谢，那个胶真的是太黏了，直接倒不出来，我都用玻璃棒往外弄，然后预热了才往上涂，结果就好多气泡，没找到好的涂膜的方法，再试试您说的方法吧。我们是从南京百思优买的，从网上查到的，电话025-84230316。
赞一下(1人) 回复此楼
好好学习，天天向上
3楼2012-10-17 13:14:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你们居然有国产的SU8？谁家做的有联系方式没有？站内短信我呗！

SU8是很容易有气泡的，一般我们都是从瓶子里直接往外倒，这样不容易有气泡。另外，你可以采用真空排泡的方式，把需要用的SU8放到小容器里面，然后放到真空容器中静止8小时到一天以上。

至于厚度不均匀，对于黏度大的胶来说，最好把胶先涂满片子，然后再旋转甩胶，均匀性会好很多。当然，越是厚胶，厚胶边是不可避免的，有条件的做EBR，没条件的用溶剂和棉签搞定。
当然，也有可能你的速率和气流不好，你可以试试调速率曲线，把初速调的快一点儿，涂胶的时候加个盖子等等。
赞一下 回复此楼
2楼2012-10-16 17:30:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting1973

禁虫 (正式写手)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
4楼2012-10-17 14:41:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

SU-8涂胶还需要预热？头回听说。
我用过最黏的SU8也是可以倒出来的，实在不行拍瓶底。按理说三四万以上黏度的都可以倒出来的，你这个SU8还真奇怪。
另外，有个办法，就是把SU8倒在针筒里面，然后排泡，然后挤到硅片上。
赞一下 回复此楼
5楼2012-10-17 23:06:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

u63602422

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
SU-8加热后的确可以更容易的使用spin coating法，根据手则进行试验。你的是3000，所以可以使用针管。
既然是国产的，可以问商家如何才是最佳的涂胶方案。
赞一下 回复此楼
6楼2012-10-18 02:33:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhengzhimeng

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by exciting1973 at 2012-10-17 14:41:23
可以试试超声除气吧。
这么厚的胶应该先对基片做下预处理，增加基片的粘附性，比如HMDS，可能会好一些。

嗯，好的，谢谢
回复此楼
好好学习，天天向上
7楼2012-10-18 19:05:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhengzhimeng

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-17 23:06:14
SU-8涂胶还需要预热？头回听说。
我用过最黏的SU8也是可以倒出来的，实在不行拍瓶底。按理说三四万以上黏度的都可以倒出来的，你这个SU8还真奇怪。
另外，有个办法，就是把SU8倒在针筒里面，然后排泡，然后挤到硅 ...

我也是在找涂胶的方法，你的这个办法我会尝试一下，谢谢
赞一下 回复此楼
好好学习，天天向上
8楼2012-10-18 19:07:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhengzhimeng

新虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by u63602422 at 2012-10-18 02:33:47
SU-8加热后的确可以更容易的使用spin coating法，根据手则进行试验。你的是3000，所以可以使用针管。
既然是国产的，可以问商家如何才是最佳的涂胶方案。

嗯，加热之后再spin coating会不会影响胶的性质？
赞一下 回复此楼
好好学习，天天向上
9楼2012-10-18 19:14:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by u63602422 at 2012-10-18 02:33:47
SU-8加热后的确可以更容易的使用spin coating法，根据手则进行试验。你的是3000，所以可以使用针管。
既然是国产的，可以问商家如何才是最佳的涂胶方案。

你确定coating之前可以加热？
SU8对热是很敏感的，soft baking都是阶梯升温的，而且是要先温升到50～60度，再慢慢往上升。涂胶前把胶加热，胶会变性的。

文献看错了吧，preheat指的是硅片在涂胶前烘一下，用来去潮气的。你确定你用过SU8？
赞一下 回复此楼
10楼2012-10-19 00:10:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 zhengzhimeng 的主题更新
141/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +6 FChKX8meu1ds 2026-11-09 10/500 2026-11-13 11:08 by Equinoxhua
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +5 C6CRn66RYYXS 2026-11-10 9/450 2026-11-13 11:02 by Equinoxhua
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +6 C6CRn66RYYXS 2026-11-10 7/350 2026-11-13 10:55 by Equinoxhua
[考博] 27博士申请（市政/环境） +3 ladf 2026-11-12 3/150 2026-11-13 08:19 by Equinoxhua
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 TgvkbZZl9tqB 2026-11-11 4/200 2026-11-12 12:51 by ECLTXnJnRSXf
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 cdqGD6ftHmbl 2026-11-11 4/200 2026-11-12 12:26 by ECLTXnJnRSXf
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 Z7qfCsdIiD1T 2026-11-10 7/350 2026-11-12 11:31 by HajghKOMynmz
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 Z7qfCsdIiD1T 2026-11-10 6/300 2026-11-12 11:22 by HajghKOMynmz
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 C6CRn66RYYXS 2026-11-10 6/300 2026-11-12 10:16 by HajghKOMynmz
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 YHiw1gou1Eda 2026-11-10 6/300 2026-11-12 10:14 by HajghKOMynmz
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 YHiw1gou1Eda 2026-11-10 6/300 2026-11-12 10:08 by HajghKOMynmz
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +7 FChKX8meu1ds 2026-11-09 9/450 2026-11-12 10:03 by HajghKOMynmz
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 FChKX8meu1ds 2026-11-09 10/500 2026-11-12 09:52 by HajghKOMynmz
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +5 FChKX8meu1ds 2026-11-09 8/400 2026-11-12 09:46 by HajghKOMynmz
[基金申请] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 TgvkbZZl9tqB 2026-11-11 5/250 2026-11-12 08:15 by HajghKOMynmz
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 czAiolzR0IJC 2026-11-10 5/250 2026-11-12 06:36 by 9fOTqj074tIg
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 czAiolzR0IJC 2026-11-10 5/250 2026-11-12 06:25 by 9fOTqj074tIg
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +5 cqv1zKnzd7hr 2026-11-09 8/400 2026-11-12 05:08 by 9fOTqj074tIg
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +6 0TEMgxdT1eIw 2026-11-09 9/450 2026-11-12 04:57 by 9fOTqj074tIg
[文学芳草园] 厉娜 +3 张丹枫1991 2026-11-09 5/250 2026-11-09 16:53 by 张丹枫1991
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭