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zhengzhimeng

新虫 (小有名气)

[求助] su-8涂胶

请问各位虫友,我现在刚用国产的SU-8 3000系列光刻胶,粘度太大了,涂胶容易有气泡,厚度还不均匀,各位有没有好的涂胶方法,求教!
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好好学习,天天向上
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by u63602422 at 2012-10-18 02:33:47
SU-8加热后的确可以更容易的使用spin coating法,根据手则进行试验。你的是3000,所以可以使用针管。
既然是国产的,可以问商家如何才是最佳的涂胶方案。

你确定coating之前可以加热?
SU8对热是很敏感的,soft baking都是阶梯升温的,而且是要先温升到50~60度,再慢慢往上升。涂胶前把胶加热,胶会变性的。

文献看错了吧,preheat指的是硅片在涂胶前烘一下,用来去潮气的。你确定你用过SU8?
10楼2012-10-19 00:10:17
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你们居然有国产的SU8?谁家做的有联系方式没有?站内短信我呗!

SU8是很容易有气泡的,一般我们都是从瓶子里直接往外倒,这样不容易有气泡。另外,你可以采用真空排泡的方式,把需要用的SU8放到小容器里面,然后放到真空容器中静止8小时到一天以上。

至于厚度不均匀,对于黏度大的胶来说,最好把胶先涂满片子,然后再旋转甩胶,均匀性会好很多。当然,越是厚胶,厚胶边是不可避免的,有条件的做EBR,没条件的用溶剂和棉签搞定。
当然,也有可能你的速率和气流不好,你可以试试调速率曲线,把初速调的快一点儿,涂胶的时候加个盖子等等。
2楼2012-10-16 17:30:38
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zhengzhimeng

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-16 17:30:38
你们居然有国产的SU8?谁家做的有联系方式没有?站内短信我呗!

SU8是很容易有气泡的,一般我们都是从瓶子里直接往外倒,这样不容易有气泡。另外,你可以采用真空排泡的方式,把需要用的SU8放到小容器里面,然后 ...

嗯,谢谢,那个胶真的是太黏了,直接倒不出来,我都用玻璃棒往外弄,然后预热了才往上涂,结果就好多气泡,没找到好的涂膜的方法,再试试您说的方法吧。我们是从南京百思优买的,从网上查到的,电话025-84230316。
好好学习,天天向上
3楼2012-10-17 13:14:54
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exciting1973

禁虫 (正式写手)

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4楼2012-10-17 14:41:23
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