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zhengzhimeng

新虫 (小有名气)

[求助] su-8涂胶

请问各位虫友,我现在刚用国产的SU-8 3000系列光刻胶,粘度太大了,涂胶容易有气泡,厚度还不均匀,各位有没有好的涂胶方法,求教!
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好好学习,天天向上
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zhengzhimeng

新虫 (小有名气)

引用回帖:
12楼: Originally posted by whynot at 2012-10-19 04:40:37
这里有su8 3000的process guideline http://microchem.com/pdf/SU-8%203000%20Data%20Sheet.pdf。你必须严格按照他们的操作过程。硅片表面的干净度直接影响结果。旋涂之前硅片必须prebake。如果粘度很厚的话,提前一 ...

嗯,好的,非常感谢
好好学习,天天向上
13楼2012-10-19 08:30:37
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你们居然有国产的SU8?谁家做的有联系方式没有?站内短信我呗!

SU8是很容易有气泡的,一般我们都是从瓶子里直接往外倒,这样不容易有气泡。另外,你可以采用真空排泡的方式,把需要用的SU8放到小容器里面,然后放到真空容器中静止8小时到一天以上。

至于厚度不均匀,对于黏度大的胶来说,最好把胶先涂满片子,然后再旋转甩胶,均匀性会好很多。当然,越是厚胶,厚胶边是不可避免的,有条件的做EBR,没条件的用溶剂和棉签搞定。
当然,也有可能你的速率和气流不好,你可以试试调速率曲线,把初速调的快一点儿,涂胶的时候加个盖子等等。
2楼2012-10-16 17:30:38
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zhengzhimeng

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-16 17:30:38
你们居然有国产的SU8?谁家做的有联系方式没有?站内短信我呗!

SU8是很容易有气泡的,一般我们都是从瓶子里直接往外倒,这样不容易有气泡。另外,你可以采用真空排泡的方式,把需要用的SU8放到小容器里面,然后 ...

嗯,谢谢,那个胶真的是太黏了,直接倒不出来,我都用玻璃棒往外弄,然后预热了才往上涂,结果就好多气泡,没找到好的涂膜的方法,再试试您说的方法吧。我们是从南京百思优买的,从网上查到的,电话025-84230316。
好好学习,天天向上
3楼2012-10-17 13:14:54
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exciting1973

禁虫 (正式写手)

感谢参与,应助指数 +1
本帖内容被屏蔽

4楼2012-10-17 14:41:23
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