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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » su-8涂胶
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zhengzhimeng

新虫 (小有名气)

[求助] su-8涂胶

请问各位虫友，我现在刚用国产的SU-8 3000系列光刻胶，粘度太大了，涂胶容易有气泡，厚度还不均匀，各位有没有好的涂胶方法，求教！
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好好学习，天天向上
1楼 2012-10-16 15:57:35
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zhengzhimeng

新虫 (小有名气)
引用回帖:
12楼: Originally posted by whynot at 2012-10-19 04:40:37
这里有su8 3000的process guideline http://microchem.com/pdf/SU-8%203000%20Data%20Sheet.pdf。你必须严格按照他们的操作过程。硅片表面的干净度直接影响结果。旋涂之前硅片必须prebake。如果粘度很厚的话，提前一 ...

嗯，好的，非常感谢
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好好学习，天天向上
13楼2012-10-19 08:30:37
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你们居然有国产的SU8？谁家做的有联系方式没有？站内短信我呗！

SU8是很容易有气泡的，一般我们都是从瓶子里直接往外倒，这样不容易有气泡。另外，你可以采用真空排泡的方式，把需要用的SU8放到小容器里面，然后放到真空容器中静止8小时到一天以上。

至于厚度不均匀，对于黏度大的胶来说，最好把胶先涂满片子，然后再旋转甩胶，均匀性会好很多。当然，越是厚胶，厚胶边是不可避免的，有条件的做EBR，没条件的用溶剂和棉签搞定。
当然，也有可能你的速率和气流不好，你可以试试调速率曲线，把初速调的快一点儿，涂胶的时候加个盖子等等。
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2楼2012-10-16 17:30:38
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zhengzhimeng

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-10-16 17:30:38
你们居然有国产的SU8？谁家做的有联系方式没有？站内短信我呗！

SU8是很容易有气泡的，一般我们都是从瓶子里直接往外倒，这样不容易有气泡。另外，你可以采用真空排泡的方式，把需要用的SU8放到小容器里面，然后 ...

嗯，谢谢，那个胶真的是太黏了，直接倒不出来，我都用玻璃棒往外弄，然后预热了才往上涂，结果就好多气泡，没找到好的涂膜的方法，再试试您说的方法吧。我们是从南京百思优买的，从网上查到的，电话025-84230316。
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好好学习，天天向上
3楼2012-10-17 13:14:54
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exciting1973

禁虫 (正式写手)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
4楼2012-10-17 14:41:23
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