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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » [求助]离子束溅射的离子枪老不放电是怎么回事？
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172901067

新虫 (初入文坛)

[求助] [求助]离子束溅射的离子枪老不放电是怎么回事？ 已有1人参与

实验室一台离子束溅射，假期回来之后就有一个枪怎么都不出现放电电流，一检查发现栅极的线断了，接上之后仍然没放电电流；这次清洗枪之后另一支枪也出现了同样的问题，我一个人也搞不明白怎么回事，有经验的师兄师姐们帮帮忙。
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1楼 2012-10-03 19:54:16
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laser-bird

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

是不是离子束把连接线蚀刻断的？
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2楼2015-04-07 10:09:24
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