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离子束溅射技术中离子束的作用？
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离子束溅射技术中离子束的作用？ 试述表面的TLK结构，说明“光滑”表面和“粗糙”表面的区别。 |
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soqin
木虫 (著名写手)
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【答案】应助回帖
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06233053: 金币+1, 奖励发帖~ 2012-07-03 17:39:52
06233053: 金币+1, 奖励发帖~ 2012-07-03 17:39:52
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离子束溅射技术中离子束的作用是轰击靶材，使靶材被撞击出细小的金属颗粒，金属颗粒再散落到样品上，达到样品表面镀膜的目的。 目前被?V為接受的表面原子結構模型是TLK 模型 http://www.mse.nthu.edu.tw/~jch/surface/fig/album3/3-1.htm ，此模型被用?硇稳萑魏纹矫娣较颍ɡ缭赾ubic系統的（x, y, z））的表面原子結構，其中T代表表面上的平台（Terrace）、L代表表面上的平台懸壁（Ledge）、 k代表表面平台懸壁上的凹角（Kink）。 |
2楼2012-06-30 22:49:59
