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非晶膜中少量结晶怎么进行鉴定
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大鲨鱼邓肯
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非晶膜中少量结晶怎么进行鉴定
非晶薄膜中存在少量结晶,物相鉴定用什么方法比较好。小脚XRD难以实现,TEM比较费时费力
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2012-09-24 10:30:18
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Originally posted by
SCU_magiclee
at 2012-09-24 14:26:17
你是什么薄膜啊?查下文献就知道了啊。像硅基薄膜的话是很成熟的,用raman可以半定量分析结晶比例。结晶越好,相应的特征谱线越锐,越接近非晶,谱线宽化。通过峰面积积分结果和单晶的结果比对,就能得出结晶的情况 ...
我是非晶碳,掺杂金属后,会有结晶出现,一般是金属碳化物出现,现在一般用电子衍射做结构的,制样太复杂
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5楼
2012-09-25 07:48:07
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Raman应该可以,不过和你的薄膜的均匀性也有很大关系。不同位置处的结晶情况不同的话,raman的结果也会有差异
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2楼
2012-09-24 12:10:27
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SCU_magiclee
at 2012-09-24 12:10:27
Raman应该可以,不过和你的薄膜的均匀性也有很大关系。不同位置处的结晶情况不同的话,raman的结果也会有差异
拉曼怎么看?有相关资料不?
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3楼
2012-09-24 13:25:30
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大鲨鱼邓肯
at 2012-09-24 13:25:30
拉曼怎么看?有相关资料不?...
你是什么薄膜啊?查下文献就知道了啊。像硅基薄膜的话是很成熟的,用raman可以半定量分析结晶比例。结晶越好,相应的特征谱线越锐,越接近非晶,谱线宽化。通过峰面积积分结果和单晶的结果比对,就能得出结晶的情况,有点像XRD。我还可以给你给你推荐商业化的检测机构。EAG。。上海埃文斯就可以做。绝对专业!
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4楼
2012-09-24 14:26:17
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