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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 非晶膜中少量结晶怎么进行鉴定
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大鲨鱼邓肯

木虫 (著名写手)

[交流] 非晶膜中少量结晶怎么进行鉴定

非晶薄膜中存在少量结晶，物相鉴定用什么方法比较好。小脚XRD难以实现，TEM比较费时费力
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1楼2012-09-24 10:30:18
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by 大鲨鱼邓肯 at 2012-09-24 13:25:30
拉曼怎么看？有相关资料不？...

你是什么薄膜啊？查下文献就知道了啊。像硅基薄膜的话是很成熟的，用raman可以半定量分析结晶比例。结晶越好，相应的特征谱线越锐，越接近非晶，谱线宽化。通过峰面积积分结果和单晶的结果比对，就能得出结晶的情况，有点像XRD。我还可以给你给你推荐商业化的检测机构。EAG。。上海埃文斯就可以做。绝对专业！
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4楼2012-09-24 14:26:17
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
Raman应该可以，不过和你的薄膜的均匀性也有很大关系。不同位置处的结晶情况不同的话，raman的结果也会有差异
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2楼2012-09-24 12:10:27
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大鲨鱼邓肯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by SCU_magiclee at 2012-09-24 12:10:27
Raman应该可以，不过和你的薄膜的均匀性也有很大关系。不同位置处的结晶情况不同的话，raman的结果也会有差异

拉曼怎么看？有相关资料不？
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3楼2012-09-24 13:25:30
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大鲨鱼邓肯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by SCU_magiclee at 2012-09-24 14:26:17
你是什么薄膜啊？查下文献就知道了啊。像硅基薄膜的话是很成熟的，用raman可以半定量分析结晶比例。结晶越好，相应的特征谱线越锐，越接近非晶，谱线宽化。通过峰面积积分结果和单晶的结果比对，就能得出结晶的情况 ...

我是非晶碳，掺杂金属后，会有结晶出现，一般是金属碳化物出现，现在一般用电子衍射做结构的，制样太复杂
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5楼2012-09-25 07:48:07
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