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zzq2933

新虫 (初入文坛)

[交流] 麻烦大家给我推荐一个合适的SCI期刊 已有4人参与

论文的内容:SiC氧化,在不同的温度下退火,采用椭偏和AFM研究SiO2/SiC的界面,通过实验得到一个优化的工艺温度,我之前投到ASS(Applied Surface Science),被拒了,说不是很合适投这个期刊,专家建议投偏向于Si工艺的期刊,我现在迷糊的很,寻求大家帮助。
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椭偏测量

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步步高升步步

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
楼主,请问下SiC开始氧化的温度是多少?
2楼2012-11-23 08:16:37
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灵动的坚定

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请教下楼主,双抛sic如何用椭偏测厚度

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
我们来自地球
3楼2012-12-11 18:12:08
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mengyonghong

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
可以考虑一下《Thin Solid Films》,看看合适吗。
4楼2013-02-09 07:06:42
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mengyonghong

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by 灵动的坚定 at 2012-12-11 18:12:08
请教下楼主,双抛sic如何用椭偏测厚度

这测量起来比单抛的要复杂一些。
    请确定如下参数:(1)基底是Si吗?(2)基底厚度多少?(3)双面是否光学平行?(4)两层上是否都有SiC薄膜吗?(5)SiC膜厚大概厚度范围是多少?
    确定好后可以和我探讨。
5楼2013-02-09 07:11:01
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阳光雨猪

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by mengyonghong at 2013-02-09 07:11:01
这测量起来比单抛的要复杂一些。
    请确定如下参数:(1)基底是Si吗?(2)基底厚度多少?(3)双面是否光学平行?(4)两层上是否都有SiC薄膜吗?(5)SiC膜厚大概厚度范围是多少?
    确定好后可以和我探讨 ...

问一下,SiC氧化后生成的SiO2是什么晶型?方石英,鳞石英,还是石英玻璃?
6楼2013-04-09 14:47:51
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