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haha8081

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] XRD计算纳晶硅薄膜晶粒尺寸

做出来的纳晶硅薄膜XRD出现(111)、(220)和(311)三峰，强度各不相同。现在计算晶粒尺寸时有以下两个问题想请教一下：
1、用jade三个峰分别计算各自晶粒尺寸时，扣除基线后，用不用进行峰的拟合，然后用拟合峰的FWHM和角度来计算；还是直接用数据峰的FWHM和角度来计算？
2、三峰的晶粒尺寸d(111)、d(220)、d(311)计算出来后，平均晶粒尺寸d(mean)是[d(111)+d(220)+d(311)]/3；还是[d(111)+A*d(220)+B*d(311)]/3，其中A是(220)峰和(111)峰的面积比，B是(311)峰和(111)峰的面积比。
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1楼 2012-09-19 09:57:01
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蓝色贝壳刘

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

第二个问题应该是平均晶粒尺寸d(mean)是[d(111)+d(220)+d(311)]/3。你算晶粒大小选三个峰吗？我一般选的是7个强峰，但后相加除以7
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2楼2013-01-12 16:36:25
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