应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻工艺
51/1返回列表
查看: 981  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

chc33

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻工艺

请问光刻工艺中的dark erosion是什么意思？指的是光刻中的什么现象？谢谢
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2012-09-14 09:05:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chc33

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2012-09-18 19:02:05
dark erosion的意思是指没有曝光的光刻胶仍然和显影液反应被显影掉（正胶）。光刻胶其实无论是否曝光，只要进入显影液，都会被腐蚀，只是曝光和未曝光的区域腐蚀速率差别很大，才会有图形出现。一般这个性质都是被光 ...

衷心谢谢您的解惑！
赞一下 回复此楼
5楼2012-09-18 19:24:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

semi-white

铁杆木虫 (著名写手)

Pay first, then get.

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是光刻胶的暗腐蚀，需要避免的
赞一下 回复此楼
2楼2012-09-14 13:33:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chc33

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by semi-white at 2012-09-14 13:33:52
是光刻胶的暗腐蚀，需要避免的

您好！请问能否详细的描述一下具体什么是暗腐蚀，我第一次接触到这个名词比较菜，谢谢！
赞一下 回复此楼
3楼2012-09-14 16:57:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

dark erosion的意思是指没有曝光的光刻胶仍然和显影液反应被显影掉（正胶）。光刻胶其实无论是否曝光，只要进入显影液，都会被腐蚀，只是曝光和未曝光的区域腐蚀速率差别很大，才会有图形出现。一般这个性质都是被光刻胶本身决定的，所以你不用担心。只是要注意显影时间，不要显过了，否则dark erosion会很明显。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2012-09-18 19:02:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 投票:  有多少人是今天查系统知道结果的？ +12 爱看书的可乐 2026-08-26 14/700 2026-08-26 12:49 by coolysnow
[基金申请] 哪位高人中了，把查询到的截图贴出来让我看看，让我长长见识 +3 yuleib84 2026-08-26 3/150 2026-08-26 12:34 by xiacongxu
[基金申请] 能否退出参与的面上项目解除限项 +22 koalala 2026-08-24 25/1250 2026-08-26 11:14 by dxcharlary
[基金申请] 系统进不去 +4 yanglien 2026-08-26 5/250 2026-08-26 11:10 by wenfengw83
[基金申请] 2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战 +6 process2012 2026-08-23 8/400 2026-08-26 11:03 by zjlp
[职场人生] 学生撞见辅导员送外卖，第二天全班都沉默了 +3 鲸鱼融金_浙江_� 2026-08-22 3/150 2026-08-26 09:01 by zzuzxg
[基金申请] 出来了 +8 trojank 2026-08-26 8/400 2026-08-26 09:00 by gxc
[基金申请] 国合现在查不到了吗？ +10 chengyan1220 2026-08-24 20/1000 2026-08-26 08:57 by peasantsprig
[基金申请] 牛来！米来！面来！ +8 beefly 2026-08-26 8/400 2026-08-26 08:37 by xuzhipiao
[基金申请] 2026年8月25日国自然放榜前突然收到列入评审专家邮件，有关系吗？ +24 木水思豆 2026-08-25 27/1350 2026-08-26 08:26 by yanchen918
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +8 炎黄贵胄 2026-08-22 9/450 2026-08-26 07:47 by WASM
[基金申请] 2026国自然函评费到账 +21 羊腰板 2026-08-21 24/1200 2026-08-26 07:20 by finnigan
[基金申请] 有没有大神帮我看看基金代码 28+4 1234567wang 2026-08-24 10/500 2026-08-25 19:15 by lfy8008
[基金申请] 今日不放榜？网传国自然预计 8 月 27 日可查结果 +17 医学老男孩 2026-08-20 22/1100 2026-08-25 15:36 by 医学老男孩
[基金申请] 我面上完蛋了 +13 且听虎啸 2026-08-20 14/700 2026-08-25 09:10 by mrkang
[基金申请] 让我中一个面上吧！ +13 大萍1987 2026-08-20 16/800 2026-08-24 10:23 by 太傻了
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办？ +5 简单化xn 2026-08-22 10/500 2026-08-23 12:38 by 简单化xn
[基金申请] 时间戳今天，20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧？ +4 哈哈蛤？ 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭