24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 880  |  回复: 4

chc33

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻工艺

请问光刻工艺中的dark erosion是什么意思?指的是光刻中的什么现象?谢谢
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

semi-white

铁杆木虫 (著名写手)

Pay first, then get.

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
是光刻胶的暗腐蚀,需要避免的
2楼2012-09-14 13:33:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chc33

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by semi-white at 2012-09-14 13:33:52
是光刻胶的暗腐蚀,需要避免的

您好!请问能否详细的描述一下具体什么是暗腐蚀,我第一次接触到这个名词比较菜,谢谢
3楼2012-09-14 16:57:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

dark erosion的意思是指没有曝光的光刻胶仍然和显影液反应被显影掉(正胶)。光刻胶其实无论是否曝光,只要进入显影液,都会被腐蚀,只是曝光和未曝光的区域腐蚀速率差别很大,才会有图形出现。一般这个性质都是被光刻胶本身决定的,所以你不用担心。只是要注意显影时间,不要显过了,否则dark erosion会很明显。
4楼2012-09-18 19:02:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chc33

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2012-09-18 19:02:05
dark erosion的意思是指没有曝光的光刻胶仍然和显影液反应被显影掉(正胶)。光刻胶其实无论是否曝光,只要进入显影液,都会被腐蚀,只是曝光和未曝光的区域腐蚀速率差别很大,才会有图形出现。一般这个性质都是被光 ...

衷心谢谢您的解惑!
5楼2012-09-18 19:24:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 chc33 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料与化工272求调剂 +16 阿斯蒂芬2004 2026-03-28 16/800 2026-03-29 22:57 by tantai88888
[考研] 297求调剂 +11 田洪有 2026-03-26 11/550 2026-03-29 13:14 by peike
[考研] 343求调剂 +6 爱羁绊 2026-03-29 6/300 2026-03-29 12:00 by 无际的草原
[考研] 0703化学 +11 妮妮ninicgb 2026-03-27 11/550 2026-03-29 06:45 by 544594351
[考研] 356求调剂 +3 gysy?s?a 2026-03-28 3/150 2026-03-29 00:33 by 544594351
[考研] 085701求调剂初试286分 +4 secret0328 2026-03-28 4/200 2026-03-28 21:09 by 15366876211
[考研] 071000生物学求调剂,初试成绩343 +7 小小甜面团 2026-03-25 7/350 2026-03-28 20:25 by 唐沐儿
[考研] 食品工程专硕一志愿中海洋309求调剂 +4 小张zxy张 2026-03-26 8/400 2026-03-28 19:25 by lbsjt
[考研] 347求调剂 +3 山顶见α 2026-03-25 3/150 2026-03-28 14:13 by 唐沐儿
[材料工程] 一志愿C9材料与化工专业总分300求调剂 +8 曼111 2026-03-24 9/450 2026-03-28 07:58 by YYYYX1234
[考研] 求调剂 +4 零八# 2026-03-27 4/200 2026-03-27 18:07 by yu221
[考研] 333求调剂 +3 question挽风 2026-03-23 3/150 2026-03-27 11:29 by 不吃魚的貓
[硕博家园] 北京林业大学硕导招生广告 +6 kongweilin 2026-03-26 8/400 2026-03-27 10:18 by FF_16
[考研] 304材料求调剂 +4 钟llll 2026-03-26 4/200 2026-03-27 03:42 by wxiongid
[考研] 325求调剂 +5 李嘉图·S·路 2026-03-23 5/250 2026-03-27 00:42 by wxiongid
[考研] 【2026考研调剂】制药工程 284分 求相关专业调剂名额 +4 袁奂奂 2026-03-25 8/400 2026-03-25 14:32 by lbsjt
[考研] 化工专硕求调剂 +3 question挽风 2026-03-24 3/150 2026-03-24 18:48 by jhhcooi
[考研] 材料考研调剂生 +3 黄粱一梦千年 2026-03-24 3/150 2026-03-24 17:00 by barlinike
[考研] 085404电子信息284分求调剂 +4 13659058978 2026-03-24 4/200 2026-03-24 12:15 by syl20081243
[考研] 材料/农业专业,07/08开头均可,过线就行 +3 呵唔哦豁 2026-03-23 4/200 2026-03-23 22:30 by 汪!?!
信息提示
请填处理意见