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chc33

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻工艺

请问光刻工艺中的dark erosion是什么意思？指的是光刻中的什么现象？谢谢
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1楼 2012-09-14 09:05:46
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semi-white

铁杆木虫 (著名写手)

Pay first, then get.

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是光刻胶的暗腐蚀，需要避免的
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2楼2012-09-14 13:33:52
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chc33

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by semi-white at 2012-09-14 13:33:52
是光刻胶的暗腐蚀，需要避免的

您好！请问能否详细的描述一下具体什么是暗腐蚀，我第一次接触到这个名词比较菜，谢谢！
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3楼2012-09-14 16:57:54
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

dark erosion的意思是指没有曝光的光刻胶仍然和显影液反应被显影掉（正胶）。光刻胶其实无论是否曝光，只要进入显影液，都会被腐蚀，只是曝光和未曝光的区域腐蚀速率差别很大，才会有图形出现。一般这个性质都是被光刻胶本身决定的，所以你不用担心。只是要注意显影时间，不要显过了，否则dark erosion会很明显。
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4楼2012-09-18 19:02:05
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chc33

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2012-09-18 19:02:05
dark erosion的意思是指没有曝光的光刻胶仍然和显影液反应被显影掉（正胶）。光刻胶其实无论是否曝光，只要进入显影液，都会被腐蚀，只是曝光和未曝光的区域腐蚀速率差别很大，才会有图形出现。一般这个性质都是被光 ...

衷心谢谢您的解惑！
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5楼2012-09-18 19:24:45
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