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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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chc33

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻工艺

请问光刻工艺中的dark erosion是什么意思?指的是光刻中的什么现象?谢谢
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chc33

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by semi-white at 2012-09-14 13:33:52
是光刻胶的暗腐蚀,需要避免的

您好!请问能否详细的描述一下具体什么是暗腐蚀,我第一次接触到这个名词比较菜,谢谢
3楼2012-09-14 16:57:54
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semi-white

铁杆木虫 (著名写手)

Pay first, then get.

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
是光刻胶的暗腐蚀,需要避免的
2楼2012-09-14 13:33:52
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

dark erosion的意思是指没有曝光的光刻胶仍然和显影液反应被显影掉(正胶)。光刻胶其实无论是否曝光,只要进入显影液,都会被腐蚀,只是曝光和未曝光的区域腐蚀速率差别很大,才会有图形出现。一般这个性质都是被光刻胶本身决定的,所以你不用担心。只是要注意显影时间,不要显过了,否则dark erosion会很明显。
4楼2012-09-18 19:02:05
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chc33

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2012-09-18 19:02:05
dark erosion的意思是指没有曝光的光刻胶仍然和显影液反应被显影掉(正胶)。光刻胶其实无论是否曝光,只要进入显影液,都会被腐蚀,只是曝光和未曝光的区域腐蚀速率差别很大,才会有图形出现。一般这个性质都是被光 ...

衷心谢谢您的解惑!
5楼2012-09-18 19:24:45
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