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CVD 石墨烯用什么 泵
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新虫
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性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料
[交流]
CVD 石墨烯用什么 泵
已有2人参与
有H2 、 CH4,一个卖进口泵的代理说 国产的油泵不安全。但是进口无油泵要好几万¥。不知道大家用的什么泵?尾气怎么处理?
另外,现在哪种方法作出的石墨烯最好,用CH4还是液体还是PMMA做碳源?
谢谢
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1楼
2012-09-13 21:28:31
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wulishi8
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(博后)
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散金: 4194
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在线: 1702.7小时
虫号: 654606
注册: 2008-11-15
专业: 凝聚态物性 II :电子结构
管辖:
论文投稿交流
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
北京中科科仪的分子泵就不错啊,进口的太贵了。
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中山大学材料学院招聘博士后和专职研究员,年薪20万起,请站内联系,谢谢。
3楼
2012-11-05 21:58:49
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swxby
木虫
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帖子: 1143
在线: 124.5小时
虫号: 1636330
注册: 2012-02-23
性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
明显瞎说,PECVD沈科仪的就行,别的地方也可以。一般是机械泵加分子泵,或罗茨泵,尾气和其他如磁控、清洗设备一同收集处理。
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喵了个咪的~
2楼
2012-11-05 17:14:41
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