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optk

新虫 (小有名气)

[交流] CVD 石墨烯用什么 泵 已有2人参与

有H2 、 CH4,一个卖进口泵的代理说 国产的油泵不安全。但是进口无油泵要好几万¥。不知道大家用的什么泵?尾气怎么处理?

另外,现在哪种方法作出的石墨烯最好,用CH4还是液体还是PMMA做碳源?

谢谢
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swxby

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
明显瞎说,PECVD沈科仪的就行,别的地方也可以。一般是机械泵加分子泵,或罗茨泵,尾气和其他如磁控、清洗设备一同收集处理。
喵了个咪的~
2楼2012-11-05 17:14:41
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wulishi8

专家顾问 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
北京中科科仪的分子泵就不错啊,进口的太贵了。
中山大学材料学院招聘博士后和专职研究员,年薪20万起,请站内联系,谢谢。
3楼2012-11-05 21:58:49
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